補助金情報
| 認定日 | 補助金名 | 補助金金額 | 補助金の対象 | 連名 | 補助金財源 |
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| 2020/09/14 | 令和2年度中小企業経営支援等対策費補助金(戦略的基盤技術高度化支援事業)(LiDAR向け高出力DFBレーザデバイス生産用電子線描画装置の開発) | ¥44,993,740 | -------- | -------- | -------- |
| 2021/04/27 | 令和3年度中小企業経営支援等対策費補助金(戦略的基盤技術高度化支援事業)(LiDAR向け高出力DFBレーザデバイス生産用電子線描画装置の開発) | ¥29,995,327 | -------- | -------- | -------- |
| 2022/04/01 | 令和4年度中小企業経営支援等対策費補助金(戦略的基盤技術高度化支援事業)(LiDAR向け高出力DFBレーザデバイス生産用電子線描画装置の開発) | ¥22,498,660 | -------- | -------- | -------- |