| 認定日 | 補助金名 | 補助金金額 | 補助金の対象 | 連名 | 補助金財源 |
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| 2022/04/25 | 令和３年度産業技術実用化開発事業費補助金（サプライチェーン上不可欠性の高い半導体の生産設備の脱炭素化・刷新事業費補助金）一次公募（ルネサスエレクトロニクス３） | ￥245,426,490 | -------- | -------- | -------- |
| 2022/04/25 | 令和３年度産業技術実用化開発事業費補助金（サプライチェーン上不可欠性の高い半導体の生産設備の脱炭素化・刷新事業費補助金）一次公募（ルネサスエレクトロニクス１） | ￥322,295,327 | -------- | -------- | -------- |
| 2022/04/26 | 令和３年度産業技術実用化開発事業費補助金（サプライチェーン上不可欠性の高い半導体の生産設備の脱炭素化・刷新事業費補助金）一次公募（ルネサスエレクトロニクス４） | ￥1,031,854,404 | -------- | -------- | -------- |
| 2022/04/26 | 令和３年度産業技術実用化開発事業費補助金（サプライチェーン上不可欠性の高い半導体の生産設備の脱炭素化・刷新事業費補助金）一次公募（ルネサスエレクトロニクス５） | ￥786,398,419 | -------- | -------- | -------- |
| 2022/04/27 | 令和３年度産業技術実用化開発事業費補助金（サプライチェーン上不可欠性の高い半導体の生産設備の脱炭素化・刷新事業費補助金）一次公募（ルネサスエレクトロニクス２） | ￥3,749,157,462 | -------- | -------- | -------- |
| 2023/04/03 | 令和３年度産業技術実用化開発事業費補助金（サプライチェーン上不可欠性の高い半導体の生産設備の脱炭素化・刷新事業費補助金）一次公募（ルネサスエレクトロニクス４） | ￥1,031,854,404 | -------- | -------- | -------- |
| 2023/04/03 | 令和３年度産業技術実用化開発事業費補助金（サプライチェーン上不可欠性の高い半導体の生産設備の脱炭素化・刷新事業費補助金）一次公募（ルネサスエレクトロニクス２） | ￥3,749,157,462 | -------- | -------- | -------- |
| 2023/09/01 | 令和３年度産業技術実用化開発事業費補助金（サプライチェーン上不可欠性の高い半導体の生産設備の脱炭素化・刷新事業費補助金）一次公募（ルネサスエレクトロニクス３） | ￥245,426,490 | -------- | -------- | -------- |
〒135-0061 東京都江東区豊洲３丁目２番２４号
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