〒305-0045 茨城県つくば市梅園１丁目１番地１
調査・研究 / ソフトウェア開発 / その他補助金情報
| 認定日 | 補助金名 | 補助金金額 | 補助金の対象 | 連名 | 補助金財源 |
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| 2019/04/01 | 平成３１年度中小企業経営支援等対策費補助金（戦略的基盤技術高度化支援事業）（ミニマルレーザ水素アニール装置と原子レベルアンチエイリアス（ＡＡＡ）技術の研究開発） | ￥19,433,042 | -------- | -------- | -------- |
| 2019/04/01 | 平成３１年度中小企業経営支援等対策費補助金（戦略的基盤技術高度化支援事業）（ミニマルレーザ水素アニール装置と原子レベルアンチエイリアス（ＡＡＡ）技術の研究開発） | -------- | -------- | -------- | -------- |
| 2020/04/01 | 令和２年度中小企業経営支援等対策費補助金（戦略的基盤技術高度化支援事業）（ミニマルレーザ水素アニール装置と原子レベルアンチエイリアス（ＡＡＡ）技術の研究開発） | ￥22,383,027 | -------- | -------- | -------- |