〒869-1102 熊本県菊池郡菊陽町大字原水４０００番地１
--------調達情報
| 受注日 | 事業名 | 調達金額 | 連名 | 調達情報の公表組織 |
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| 2020/07/31 | ＩｏＴ社会実現のための革新的センシング技術開発革新的センシング技術開発高真空ウェハレベルパッケージングを適用したＭＥＭＳセンサーの研究開発 | ￥74,475,500 | -------- | 国立研究開発法人新エネルギー・産業技術総合開発機構 |
| 2020/08/11 | ＩｏＴ社会実現のための革新的センシング技術開発革新的センシング技術開発高真空ウェハレベルパッケージングを適用したＭＥＭＳセンサーの研究開発 | ￥74,475,500 | -------- | 国立研究開発法人新エネルギー・産業技術総合開発機構 |
| 2023/07/07 | ＮＥＤＯ先導研究プログラム新産業・革新技術創出に向けた先導研究プログラム半導体プロセスメタファクトリーの基盤技術開発 | ￥30,734,000 | -------- | 国立研究開発法人新エネルギー・産業技術総合開発機構 |