調達情報
| 受注日 | 事業名 | 調達金額 | 連名 | 調達情報の公表組織 |
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| 2018/07/30 | NEDO先導研究プログラムエネルギー・環境新技術先導研究プログラム超微細半導体用革新的ウェットプロセス・装置技術の開発 | ¥58,111,560 | -------- | 国立研究開発法人新エネルギー・産業技術総合開発機構 |
| 2021/07/26 | 省エネエレクトロニクスの製造基盤強化に向けた技術開発事業半導体製造装置の高度化に向けた開発3Dインテグレーション研究開発 | -------- | -------- | 国立研究開発法人新エネルギー・産業技術総合開発機構 |