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| 認定日 | 補助金名 | 補助金金額 | 補助金の対象 | 連名 | 補助金財源 |
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| 2019/10/10 | 原子力の安全性向上に資する技術開発費補助金（無線通信・給電適用による安全性とセキュリティー性の向上：三菱電機株式会社） | ￥8,289,842 | -------- | -------- | -------- |
| 2019/10/10 | 原子力の安全性向上に資する技術開発費補助金 | ￥9,649,493 | -------- | -------- | -------- |
| 2022/05/13 | 令和３年度産業技術実用化開発事業費補助金（サプライチェーン上不可欠性の高い半導体の生産設備の脱炭素化・刷新事業費補助金）二次公募（三菱電機２） | ￥200,021,913 | -------- | -------- | -------- |
| 2022/07/29 | 令和３年度産業技術実用化開発事業費補助金（サプライチェーン上不可欠性の高い半導体の生産設備の脱炭素化・刷新事業費補助金）一次公募（三菱電機） | ￥173,858,223 | -------- | -------- | -------- |
| 2023/04/03 | 令和３年度産業技術実用化開発事業費補助金（サプライチェーン上不可欠性の高い半導体の生産設備の脱炭素化・刷新事業費補助金）一次公募（三菱電機） | ￥173,858,223 | -------- | -------- | -------- |
| 2023/04/03 | 令和３年度産業技術実用化開発事業費補助金（サプライチェーン上不可欠性の高い半導体の生産設備の脱炭素化・刷新事業費補助金）二次公募（三菱電機２） | ￥200,021,913 | -------- | -------- | -------- |