補助金情報
| 認定日 | 補助金名 | 補助金金額 | 補助金の対象 | 連名 | 補助金財源 |
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| 2021/08/05 | 令和3年度中小企業経営支援等対策費補助金(戦略的基盤技術高度化支援事業(低コスト・高性能なデバイスを実現する窒化アルミニウムテンプレートの開発)) | ¥39,000,000 | -------- | -------- | -------- |
| 2022/04/01 | 令和4年度中小企業経営支援等対策費補助金(戦略的基盤技術高度化支援事業(低コスト・高性能なデバイスを実現する窒化アルミニウムテンプレートの開発)) | ¥16,999,999 | -------- | -------- | -------- |
| 2023/04/03 | 令和5年度中小企業経営支援等対策費補助金(戦略的基盤技術高度化支援事業(低コスト・高性能なデバイスを実現する窒化アルミニウムテンプレートの開発)) | ¥9,500,000 | -------- | -------- | -------- |
| -------- | [第十回]事業再構築補助金_グリーン成長枠(交付申請等) | ¥97,161,866 | -------- | -------- | -------- |